iX-factory bietet auch eine breite Palette verschiedenster Reinraumprozesse an, wie:
- Lithographie
- Chemisch-mechanisches Polieren (CMP) von z.B. Silizium-Oxinitriden und Kupfer
- Polymere (SU8, Polymide, ...)
- Annealing und Reflow von Silizium-Oxinitriden
- Implantation von Bor, Phosphor und Arsen
- Solid source Dotierung (SSD) von Bor
- Diffusion und drive-in von Dotierungen
- Galvanische Beschichtung
