Nassätzen ist ein chemischer Ätzprozess, der mit einem flüssigen Ätzmittel durchgeführt wird. Der Vorteil des Nassätzens ist, dass es leicht chargenweise durchgeführt werden kann. Dadurch ist es preiswerter in der Durchführung als Trockenätzen. Ein Nachteil der flüssigen Ätzmittel ist das üblicherweise isotropisches Verhalten, das zu größeren Abweichungen bei der Ätzung dickerer Beschichtungen führen kann.
Spezialisiert ist iX-factory auf das nasschemische Ätzen von Glas- und Siliziumsubstraten. iX-factory bietet das Ätzen verschiedener Materialien, wie Au, Cr, Cu, Ni, Ti, u.s.w., die Einsatz bei elektrischen Leitungen, elektrischen Elektroden u.s.w. finden.
Ätzen von Glas
Nassätzen von Glas ist eine isotrope Ätztechnik, die mit HF (Fluorwasserstoffsäure) durchgeführt wird. Isotrop bedeutet, dass die Breite der Struktur, auf der rechten wie auch auf der linken Seite sich um die Ätztiefe verbreitert. Die Ecken werden dabei abgerundet. Die Oberflächen der Ätzstrukturen sind sehr glatt.
Anwendungen:
- Mikrofluidische Kanäle
- Gaskanäle
- Kammern zum Verpacken
Leistungsfähigkeit:
- Ätzen von Nanokanälen
- Ätzen tiefer Kanäle (mehr als 300 µm sind möglich)
- Ätzen von mehreren Tiefen
Beispiele:
noch im Aufbau
Anisotropisches KOH Ätzen
Anisotropes Ätzen, Alkalihydroxide wie KOH, NaOH oder auch aminhaltige Lösungen wie TMAH, ätzen von Silizium entlang der Kristallebenen. KOH ist das beliebteste Ätzmittel, da es seit Jahren industriell angewandt wird. Abhängig von Temperatur und Konzentration sind unterschiedliche Ätzraten und Oberflächenrauhigkeiten möglich.
Anwendungen:
- Fertigung von Membranen
- V-förmige Rillen zur Faserausrichtung
- Mikrofluidische Kanäle
- Ink Jet Düsen
- Verbindungen durch Wafer
- MESA-Strukturen: Drucksensoren
Leistungsfähigkeit
- Ätzen unterschiedlicher Ebenen
- Ausgerichtetes Ätzen von Vorder- und Rückseite
- Convex corner compensation
- Kristallographische Ausrichtung
Beispiele:
noch im Aufbau
