Multi-Stack Wafer Bonding aus Glas und Silizium.
Diese Technik, von iX-factory GmbH angeboten, ist eine der vielversprechendsten für die Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen für die verschiedesten Anwendungen.
Eine Anwendung ist die Produktion von Mikroreaktoren
Beispiel:
Mikroreaktor - Pack von 20 strukturierten Glasplatten
