Mikro-Sandstrahlen ist eine der Schlüsseltechnologien von iX-factory. Mit dieser speziellen Technik ist iX-factory in der Lage tiefe oder durchgehende Strukturen in Silizium- und Glassubstraten zu fertigen. Der Sand schlägt hierbei das Glas aus seinem Verbund, die so entstandenen öffnungen finden in der Mikrofluidik ihre Hauptanwendung
Anwendungen:
- Mikrofluidische Kanäle und Öffnungen
- Durch den Wafer gehende Verbindungen (Electrical through-wafer interconnects - ETWI)
Technische Details:
- Tiefen bis zu 1500 µm
- Mehrfache Tiefen
- Positive Abschrägungen (Winkel 70°)
- Rauhigkeit abhängig vom Design, Durchschnitt 0,4 bis 1,5 µm
- Ausgerichtetes Ätzen von Vorder- und Rückseite
Beispiele:
noch im Aufbau
