iX-factory nutzt ein breites Spektrum an Inspektionstechniken, die auch als Einzelprozesse angeboten werden, wie:
- Optische Mikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy - AFM)
- Oberflächen Profiling
- Ellipsometrie
- Röntgenphotoelektronenspektroskopie (X-ray Photoelectron Spectroscopy - XPS)
- Transmissionselektronenmikroskopie (Transmission Electron Microscopy - TEM)
- Energie-dispersive Röntgenanalyse (Energy Dispersive X-ray analysis - EDX)