Der MEMS − Foundry Service stellt das Fundament für unsere Dienstleistungen dar. Unsere Kunden sind in den verschiedesten Branchen auf dem Markt angesiedelt und haben aus diesem Grund spezifische Anforderungen an die Mikrosystemtechnik. Auch steht Unternehmen unter Umständen die notwendige Infrastuktur nicht zur Verfügung. In diesem Zusammenhang bietet iX-factory sowohl einstufige MEMS Foundry Dienstleistungen an als auch die Entwicklung komplexer Strukturen und Systeme.
Unsere MEMS Foundry Dienstleistungen werden von iX-factory Ingenieuren und Operatoren an unseren Maschinen in der MST.factory, Dortmund, ausgeführt. Zusätzlich nutzt iX-factory die Einrichtungen am MESA+ Institut von LioniX.
iX-factory MEMS Foundry Dienstleistungen wenden sich nicht an einen bestimmten Markt, jedoch verzeichnen wir besondere Nachfrage sowohl von Telekommunikationsfirmen, Start-Up´s, Chemie-, Pharma- oder Biotechnologiefirmen als auch als auch von Forschungsinstituten.
Unsere Prozesse werden auf 100, 150 und 200 mm Silizium, SOI, BSOI, Borosilikat, Fused Silica (sythetisches Quarzglas) und anderen Substraten ausgeführt. Wir arbeiten mit sorgfältig ausgewählten Wafer-Herstellern zusammen, die uns auf Anfrage Wafer mit speziellen Anforderungen liefern: einfach/doppelseitig poliert - speziell dotiert - mit unterschiedlicher Rauhigkeit - Wölbung/Krümmung u.s.w. Oder Sie senden uns Ihre Wafer, blank oder prozessiert. Sehen Sie hier alle Technologien,
die wir anbieten.
