iX-factory hat auch jahrelange Erfahrung in MEMS Strukturen. Ihre Ingenieure haben bei verschiedenen MEMS Projekten mitgearbeitet und entwickelten eine breite Palette an MEMS Strukturen.
Ein Beispiel eines solchen Projektes sind die MEMS basierten elektro-mechanischen Haar-Sensoren mit SU-8 Haaren, die durch die "Transducers Science and Technology Group" unter Prof. Dr. Miko Elwenspoek, an der Universität Twente in den Niederlanden entwickelt wurden. Diese Gruppe ist in der Welt führend auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnologie (MST).
Die Forschung konzentriert sich auf das Design und die Herstellung von mikro-electrisch-mechanischen Systemen (MEMS). Die Bilder unten zeigen die MEMS basierten künstlichen elektrisch-mechanischen Haar-Sensoren mit SU-8 Haaren.
SU-8 Haare auf einem MEMS Sensor (Quelle TST-Group MESA+)
